干式真空泵的应用范围
现在干式真空泵越来越受到人们的欢迎，应用范围也越来越广，具体都应用在哪些领域呢？下面的文章为大家介绍一下。
1、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；
2、半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；
3、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而微粒排出泵外，则用一定型式的干式真空泵可以满足要求；
4、在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等；
5、用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。
